3 월 26 일
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원활한 모 놀리 식 3D 이종 통합이 고급 에피 택시에 의해 가능합니다
초록 :
3 차원 이종 통합 (3D 이종 신원)은 미세 전자 공학 분야의 성능을 향상시키는 주요 접근법으로 떠오르고 있습니다. 그러나,이 방법은 종종 복잡한 웨이퍼-웨이퍼 본딩 공정에 의존하여 정렬 문제와 계면 결함을 도입합니다.
이 대화에서, 나는 현재 3D 이종 신원 프로세스의 주요 제한을 해결하기 위해 설계된 3 가지 새로운 Epitaxy 패러다임을 소개 할 것입니다. 먼저, 나는 광범위한 재료에 걸쳐 울트라 얇은 막의 웨이퍼-규모 각질 제거를 가능하게하는 원격 에피 택시에 대해 논의 할 것이다.
이러한 에피 택시 패러다임을 기반으로, 나는 세계에서 가장 작은 마이크로 주도 픽셀의 제조 및 원격 epitaxy를 기반으로 한 Laser 쿠폰의 정확한 배치 (Transter Opperation Opperation for Next Generation for infect for lement freed)에 대한 레이저 쿠폰의 정확한 배치를 포함하여 다양한 소설 (OPTO) 전자 장치를 해당 응용 분야의 예로 보여줄 것입니다. 이종 에피 탁시) 및 2D 트랜지스터의 고급 3D 스태킹 (비정질 기질의 단결정 재료 성장에 기초 함).
Kuangye Lu
Bio :
DR. Kuangye Lu는 현재 MIT (Massachusetts Institute of Technology) Electronics의 연구소의 박사후 직원입니다.
그의 연구는 화합물 반도체 및 2D 재료에 대한 고급 에피 택시 기술의 발명 및 개발에 중점을두고 있으며, 고품질 III-V 및 III-N Optoelectronic 카지노 게임 고품질 III-V 및 III-N Optoelectronic Devices의 모 놀리 식 3D 통합을 포함하여 장치 제작 및 응용 분야에 대한 이질적인 용출에 중점을두고있다. AI 칩.
dr. LU는 자연, 자연 나노 기술 및 자연 전자 장치를 포함하여 고 충격적인 저널에 동료 검토 기사를 저술했습니다.